MEMS lithography

Sami Franssila; Santeri Tuomikoski

MEMS lithography

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition
Toimittajat	Sami Franssila, Markku Tilli, Veikko Lindroos, Teruaki Motooka, Veli-Matti Airaksinen, Mervi Paulasto-Krockel
Julkaisupaikka	Lontoo
Kustantaja	Elsevier
Sivut	333-348
ISBN (elektroninen)	9780323312233
ISBN (painettu)	9780323299657
Tila	Julkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppi	A3 Kirjan tai muun kokoomateoksen osa

OpenUrl-saatavuus

Koko teksti

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Maarit Karppinen (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@inbook{4cc3209c37af490b935c07ecd74bf6da,

title = "MEMS lithography",

author = "Sami Franssila and Santeri Tuomikoski",

year = "2015",

language = "English",

isbn = "9780323299657",

pages = "333--348",

editor = "Sami Franssila and Markku Tilli and Veikko Lindroos and Teruaki Motooka and Veli-Matti Airaksinen and Mervi Paulasto-Krockel",

booktitle = "Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition",

publisher = "Elsevier",

address = "Netherlands",

}

MEMS lithography. / Franssila, Sami; Tuomikoski, Santeri.
Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition. toim. / Sami Franssila; Markku Tilli; Veikko Lindroos; Teruaki Motooka; Veli-Matti Airaksinen; Mervi Paulasto-Krockel. Lontoo: Elsevier, 2015. s. 333-348.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu

TY - CHAP

T1 - MEMS lithography

AU - Franssila, Sami

AU - Tuomikoski, Santeri

PY - 2015

Y1 - 2015

M3 - Chapter

SN - 9780323299657

SP - 333

EP - 348

BT - Handbook of silicon based MEMS materials and technologies, 2nd edition

A2 - Franssila, Sami

A2 - Tilli, Markku

A2 - Lindroos, Veikko

A2 - Motooka, Teruaki

A2 - Airaksinen, Veli-Matti

A2 - Paulasto-Krockel, Mervi

PB - Elsevier

CY - Lontoo

ER -

MEMS lithography

OpenUrl-saatavuus

Laitteet

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä