Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films

Mechanical properties of ultrathin ALD Al₂O₃ films

Ville Rontu, Ari Hokkanen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Konferenssiesitys › Scientific

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppi	Ei oikeutettu
Tapahtuma	EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference - Linköping, Ruotsi Kesto: 11 kesäk. 2017 → 14 kesäk. 2017 http://www.eurocvd-balticald2017.se/

Conference	EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference
Maa/Alue	Ruotsi
Kaupunki	Linköping
Ajanjakso	11/06/2017 → 14/06/2017
www-osoite	http://www.eurocvd-balticald2017.se/

Superwindows - a new look at the world through supertransparent windows
Franssila, S., Hoshian, S., Rontu, V. & Hokkanen, A.
01/06/2016 → 14/11/2016
Projekti: Business Finland: Other research funding

@conference{63518dd64f454bddb4c8163ef4199369,

title = "Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films",

author = "Ville Rontu and Ari Hokkanen and Sami Franssila",

year = "2017",

language = "English",

note = "EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference ; Conference date: 11-06-2017 Through 14-06-2017",

url = "http://www.eurocvd-balticald2017.se/",

}