Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaJoint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference - Linköping, Ruotsi
Kesto: 11 kesäkuuta 201714 kesäkuuta 2017
http://www.eurocvd-balticald2017.se/

Conference

ConferenceJoint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference
MaaRuotsi
KaupunkiLinköping
Ajanjakso11/06/201714/06/2017
www-osoite

Projektit

  • 1 Päättynyt

Superwindows - a new look at the world through supertransparent windows

Franssila, S., Hoshian, S. & Rontu, V.

01/06/201631/05/2017

Projekti: Business Finland: Other research funding

Laitteet

OtaNano

Anna Rissanen (Manager)

Aalto-yliopisto

Laitteistot/tilat: Facility

  • Siteeraa tätä

    Rontu, V., Hokkanen, A., & Franssila, S. (2017). Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films. Julkaisun esittämispaikka: Joint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference, Linköping, Ruotsi.