Mechanical properties of ultrathin ALD Al2O3 films

Ville Rontu, Ari Hokkanen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaKonferenssiesitysScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaJoint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference - Linköping, Ruotsi
Kesto: 11 kesäkuuta 201714 kesäkuuta 2017
http://www.eurocvd-balticald2017.se/

Conference

ConferenceJoint EuroCVD 21 – Baltic ALD 15 Conference
MaaRuotsi
KaupunkiLinköping
Ajanjakso11/06/201714/06/2017
www-osoite

Siteeraa tätä