Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films

Elmeri Österlund, Jere Kinnunen, Ville Rontu, Altti Torkkeli, Mervi Paulasto-Kröckel

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

22 Sitaatiot (Scopus)

191 Lataukset (Pure)

1 Päättynyt

1 tulosta

Suodatin

Business Finland: Other research funding
InForMed: An integrated pilot line for micro-fabricated medical devices
Paulasto-Kröckel, M., Broas, M., Dong, H. & Österlund, E.
01/06/2015 → 31/05/2018
Projekti: Business Finland: Other research funding