Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films

Elmeri Österlund, Jere Kinnunen, Ville Rontu, Altti Torkkeli, Mervi Paulasto-Kröckel

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

21 Sitaatiot (Scopus)
191 Lataukset (Pure)
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset