Mechanical properties and reliability of aluminum nitride thin films

Elmeri Österlund, Jere Kinnunen, Ville Rontu, Altti Torkkeli, Mervi Paulasto-Kröckel

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

19 Sitaatiot (Scopus)
183 Lataukset (Pure)

Hakutulokset