Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft loading techniques

Maria Berdova; Tuomo Ylitalo; Ivan Kassamakov; Jouni Heino; Pekka Törmä; Lauri Kilpi; Helena Ronkainen; Jari Koskinen; Edward Hæggström; Sami Franssila

doi:10.1016/j.actamat.2013.11.024

Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft loading techniques

Maria Berdova
, Tuomo Ylitalo
, Ivan Kassamakov
, Jouni Heino
, Pekka Törmä
, Lauri Kilpi
, Helena Ronkainen
, Jari Koskinen
, Edward Hæggström
, Sami Franssila

Kemian ja materiaalitieteen laitos

University of Helsinki
Helsinki Inst. of Phys.
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd.

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

53 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	370-377
Sivumäärä	8
Julkaisu	Acta Materialia
Vuosikerta	66
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1016/j.actamat.2013.11.024
Tila	Julkaistu - maalisk. 2014
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Tämä tuotos edistää seuraavia kestävän kehityksen tavoitteita:

SDG 3 – Hyvä terveys ja hyvinvointi

Pääsy asiakirjaan

10.1016/j.actamat.2013.11.024

Muut tiedostot ja linkit

http://dx.doi.org/10.1016/j.actamat.2013.11.024

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{600989aa48ab4304b8491e7d153822fb,

title = "Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft loading techniques",

author = "Maria Berdova and Tuomo Ylitalo and Ivan Kassamakov and Jouni Heino and Pekka T{\"o}rm{\"a} and Lauri Kilpi and Helena Ronkainen and Jari Koskinen and Edward H{\ae}ggstr{\"o}m and Sami Franssila",

year = "2014",

month = mar,

doi = "10.1016/j.actamat.2013.11.024",

language = "English",

volume = "66",

pages = "370--377",

journal = "Acta Materialia",

issn = "1359-6454",

publisher = "Elsevier",

}

TY - JOUR

T1 - Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft loading techniques

AU - Berdova, Maria

AU - Ylitalo, Tuomo

AU - Kassamakov, Ivan

AU - Heino, Jouni

AU - Törmä, Pekka

AU - Kilpi, Lauri

AU - Ronkainen, Helena

AU - Koskinen, Jari

AU - Hæggström, Edward

AU - Franssila, Sami

PY - 2014/3

Y1 - 2014/3

UR - http://dx.doi.org/10.1016/j.actamat.2013.11.024

U2 - 10.1016/j.actamat.2013.11.024

DO - 10.1016/j.actamat.2013.11.024

M3 - Article

SN - 1359-6454

VL - 66

SP - 370

EP - 377

JO - Acta Materialia

JF - Acta Materialia

ER -

Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft loading techniques

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Pääsy asiakirjaan

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanofab

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä