Mechanical and optical properties of as-grown and thermally annealed titanium dioxide from titanium tetrachloride and water by atomic layer deposition

Oili M.E. Ylivaara*, Andreas Langner, Xuwen Liu, Dieter Schneider, Jaakko Julin, Kai Arstila, Sakari Sintonen, Saima Ali, Harri Lipsanen, Timo Sajavaara, Simo-Pekka Hannula, Riikka L. Puurunen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

22 Sitaatiot (Scopus)
246 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Mechanical and optical properties of as-grown and thermally annealed titanium dioxide from titanium tetrachloride and water by atomic layer deposition'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science