Magnesium aluminate thin films by atomic layer deposition from organometallic precursors and water

Matti Putkonen, M. Nieminen, L. Niinistö

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    14 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut103-107
    JulkaisuThin Solid Films
    Vuosikerta466
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • magnesium aluminate
    • thin film

    Siteeraa tätä