Macropore formation in multilayer films

Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisupaikkaItalia
SivutBook 2, s. 746
TilaJulkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

Julkaisusarja

Nimi16th International Vacuum Congress, Venice, Italy, 28.6.-2.7.2004
KustantajaIUVSTA - International Union for Vacuum Science, Technique and Application

Tutkimusalat

  • a-Si multilayers
  • hydrogen bubbles
  • macropore
  • PECVD
  • plasma treatment

Laitteet

OtaNano

Anna Rissanen (Manager)

Aalto-yliopisto

Laitteistot/tilat: Facility

  • Siteeraa tätä

    Ovchinnikov, V. (2004). Macropore formation in multilayer films. (Sivut Book 2, s. 746). (16th International Vacuum Congress, Venice, Italy, 28.6.-2.7.2004).