Low-temperature atomic layer deposition of ZnO thin films: Control of crystallinity and orientation

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut5319-5322
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta519
Numero16
TilaJulkaistu - 2011
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

ID: 723191