Sormenjälki
Sukella tutkimusaiheisiin 'Low-temperature processes for MEMS device fabrication'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.- Järjestys:
- Painoarvo
- Aakkosjärjestyksessä
Low-temperature processes for MEMS device fabrication
Jyrki Kiihamäki*, Hannu Kattelus, Martti Blomberg, Riikka Puurunen, Mari Laamanen, Panu Pekko, Jaakko Saarilahti, Heini Ritala, Anna Rissanen
*Tämän työn vastaava kirjoittaja
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu
7
Sitaatiot
(Scopus)