Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Otsikko | Baltic ALD 2010 & GerALD 2 -konferenssi, Hampuri, Saksa 16.-17.9.2010 |
Tila | Julkaistu - 2010 |
OKM-julkaisutyyppi | D3 Artikkeli ammatillisessa konferenssijulkaisussa |
Low-temperature ALD of ZnO: film characteristics and applications
Jari Malm, Robin H. A. Ras, Maarit Karppinen
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Professional