Low-temperature ALD of ZnO: film characteristics and applications

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoBaltic ALD 2010 & GerALD 2 -konferenssi, Hampuri, Saksa 16.-17.9.2010
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiD3 Ammatillisen konferenssin julkaisusarja

    Siteeraa tätä