Layer-by-layer deposition of Ti-ODA hybrid thin films

Pia Sundberg, Anjali Sood, Jari Malm, Matti Putkonen, Maarit Karppinen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoBaltic ALD 2010 & GerALD 2 -konferenssi, Hampuri, Saksa 16.-17.9.2010
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiD3 Ammatillisen konferenssin julkaisusarja

    Siteeraa tätä