Lattice impurity-related stress in micromechanical silicon devices

Päivi Sievilä, Ilkka Tittonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific

AlkuperäiskieliEnglanti
Otsikko47th annual conference of the Finnish Physical Society (Physics Days 2013), Espoo, Finland, March 14-16, 2013
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiB3 Vertaisarvioimaton artikkeli konferenssijulkaisussa

Siteeraa tätä