Laser Interferometric Measurement of Lamb Wave Dispersion and Extraction of Material Parameters in FBARs

T. Makkonen, T. Pensala, J. Vartiainen, J. Knuuttila, J. Kaitila, O. Holmgren, M.M. Salomaa

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    11 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko2002 IEEE Ultrasonics Symposium, München 2002
    Sivut952-955
    TilaJulkaistu - 2002
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • dispersion
    • laser-interferometric imaging
    • thin-film bulk-acoustic resonator

    Siteeraa tätä