Ion beam etching technique in the preparation of samples for cross-sectional microscopy studies of thin films and hard coatings

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut95-104
JulkaisuSurface and Coatings Technology
Numero67
TilaJulkaistu - 1994
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • ion beams, stm, thin films

ID: 4946297