Investigation of Structural Defects in 4H SiC Wafers

M. Tuominen, R. Yakimova, R.C. Glass, T. Tuomi, E. Janzen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut729-734
    JulkaisuMaterials Research Society Symposium Proceedings
    Vuosikerta339
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • defects
    • silicon carbide
    • synchrotron x-ray topography and diffraction

    Siteeraa tätä