Introduction to Encapsulation and Integration of MEMS

Heikki Kuisma*, Mervi Paulasto-Kröckel

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Introduction to Encapsulation and Integration of MEMS'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science