Interferometric Line Scale Calibrator with a Moving CCD Camera as Line Detector

A. Lassila, E. Ikonen, K. Riski

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference article in proceedingsScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko3rd International IMEKO Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry, Heidelberg, Germany, March 21-22, 1994
    JulkaisupaikkaGermany
    KustantajaInternational Measurement Confederation (IMEKO)
    Sivut105-110
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

    Tutkimusalat

    • interferometry
    • length metrology
    • line scales

    Siteeraa tätä