Integration of atomic layer deposited nanolaminates on silicon waveguides (Conference Presentation)

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussavertaisarvioitu

Tutkijat

  • Anton Autere
  • Lasse Karvonen
  • Antti Säynätjoki
  • Matthieu Roussey
  • John-Olof Rönn

  • Elina Färm
  • Marianna Kemell
  • Xiaoguang Tu
  • Tsung-Yang Liow
  • Patrick Lo
  • Mikko Ritala
  • Markku Leskelä
  • Harri Lipsanen

  • Seppo Honkanen
  • Zhipei Sun

Organisaatiot

  • University of Eastern Finland
  • University of Helsinki
  • Agency for Science, Technology and Research

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoSILICON PHOTONICS AND PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS V
ToimittajatL Vivien, L Pavesi, S Pelli
TilaJulkaistu - 2016
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
TapahtumaSPIE Photonics Europe - Brussels, Belgia
Kesto: 3 huhtikuuta 20167 huhtikuuta 2016

Julkaisusarja

NimiProceedings of SPIE
KustantajaSPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Vuosikerta9891
ISSN (painettu)0277-786X

Conference

ConferenceSPIE Photonics Europe
MaaBelgia
KaupunkiBrussels
Ajanjakso03/04/201607/04/2016

ID: 10713791