Integration of atomic layer deposited nanolaminates on silicon waveguides (Conference Presentation)

Anton Autere*, Lasse Karvonen, Antti Säynätjoki, Matthieu Roussey, John Rönn, Elina Färm, Marianna Kemell, Xiaoguang Tu, Tsung-Yang Liow, Patrick Lo, Mikko Ritala, Markku Leskelä, Harri Lipsanen, Seppo Honkanen, Zhipei Sun

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoSILICON PHOTONICS AND PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS V
ToimittajatL Vivien, L Pavesi, S Pelli
KustantajaSPIE - The International Society for Optical Engineering
Sivumäärä2
ISBN (painettu)9781510601369
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2016
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa
TapahtumaSPIE Photonics Europe - Brussels, Belgia
Kesto: 3 huhtikuuta 20167 huhtikuuta 2016

Julkaisusarja

NimiProceedings of SPIE
KustantajaSPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Vuosikerta9891
ISSN (painettu)0277-786X

Conference

ConferenceSPIE Photonics Europe
MaaBelgia
KaupunkiBrussels
Ajanjakso03/04/201607/04/2016

Siteeraa tätä