Influence of the seed layer on structural and electro-acoustic properties of sputter-deposited AlN resonators

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • T. Riekkinen
  • A. Nurmela
  • J. Molarius
  • T. Pensala
  • P. Kostamo
  • M. Ylilammi
  • S. van Dijken

Organisaatiot

  • VTT Technical Research Centre of Finland

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut6588-6592
Sivumäärä5
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta517
Numero24
TilaJulkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • aluminium nitride sputtering, nickel, piezoelectric effect crystallization, surface morphology molybdenum, titanium

ID: 3521988