Inductively coupled plasma etching of III-nitride based laser structure using CI2/BCI3/Ar gasses

Pekka Törmä, Olli Svensk, Sami Suihkonen, Harri Lipsanen, V.E. Odnoblyudov, V.E. Bougrov

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiWBSQ Symposium, Ascona, Sveitsi, 2006

    Siteeraa tätä

    Törmä, P., Svensk, O., Suihkonen, S., Lipsanen, H., Odnoblyudov, V. E., & Bougrov, V. E. (2006). Inductively coupled plasma etching of III-nitride based laser structure using CI2/BCI3/Ar gasses. (WBSQ Symposium, Ascona, Sveitsi, 2006).