In situ reflectance monitoring of thick GaAsN layers

Outi Reentilä, Aapo Lankinen, Antti Säynätjoki, Marco Mattila, Turkka Tuomi, Harri Lipsanen, Lisa "O'Reilly", P.J. McNally

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoThe 6th International Conference on Materials for Microelectronics & Nanoengineering MFMN, 27-29.10.2006, Cranfield, UK
    Sivut29-32
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Siteeraa tätä

    Reentilä, O., Lankinen, A., Säynätjoki, A., Mattila, M., Tuomi, T., Lipsanen, H., ... McNally, P. J. (2006). In situ reflectance monitoring of thick GaAsN layers. teoksessa The 6th International Conference on Materials for Microelectronics & Nanoengineering MFMN, 27-29.10.2006, Cranfield, UK (Sivut 29-32)