In silico design of a thermal atomic layer etch process of cobalt

Suresh Kondati Natarajan*, Michael Nolan, Patrick Theofanis, Charles Mokhtarzadeh, Scott B. Clendenning

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

5 Sitaatiot (Scopus)
85 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'In silico design of a thermal atomic layer etch process of cobalt'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Chemistry

Chemical Engineering

Material Science