In-Plane AlN-based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS

Kristina Bespalova*, Tarmo Nieminen, Artem Gabrelian, Glenn Ross, Mervi Paulasto-Kröckel

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

5 Sitaatiot (Scopus)
104 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'In-Plane AlN-based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science