Improved performance of silicon photonic devices with atomic layer deposited thin films

Antti Säynätjoki, Tapani Alasaarela, Lasse Karvonen, Ari Tervonen, Seppo Honkanen

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2011
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Siteeraa tätä