Implementing ALD layers in MEMS processing

R. L. Puurunen, J. Saarilahti, H. Kattelus

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

75 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Implementing ALD layers in MEMS processing'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science