Impact of Ions on Film Conformality and Crystallinity during Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of TiO2

Karsten Arts, Harvey Thepass, Marcel A. Verheijen, Riikka L. Puurunen, Wilhelmus M.M. Kessels*, Harm C.M. Knoops*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

23 Sitaatiot (Scopus)
166 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Impact of Ions on Film Conformality and Crystallinity during Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of TiO2'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Physics

Chemistry

Chemical Engineering

Material Science