Impact of doping and silicon substrate resistivity on the blistering of atomic-layer-deposited aluminium oxide

Hakutulokset

• Päättynyt

  PREIN: Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio

  Mäkelä, K.

  01/01/2019 → 31/12/2022

  Projekti: Academy of Finland: Other research funding

  • Silicon 100%
  • Devices 99%
  • Light 94%
  • Surface 90%
  • Material 84%

• -: Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio

  Savin, H., Ayedh, H., Mulbagal Rajanna, P., Rauha, I., Liu, H. & Vähänissi, V.

  01/01/2019 → 31/12/2022

  Projekti: Academy of Finland: Other research funding

  • Silicon 100%
  • Aluminum Oxide 60%
  • Devices 48%
  • Surface 44%
  • Solar Cell 43%