Impact of doping and silicon substrate resistivity on the blistering of atomic-layer-deposited aluminium oxide

Jennifer Ott, Toni P. Pasanen, Akiko Gädda, Moises Garín, Kawa Rosta, Ville Vähänissi, Hele Savin

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)

12 Lataukset (Pure)

2 tulosta

Päättynyt
Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio
Savin, H., Ayedh, H., Mulbagal Rajanna, P., Rauha, I., Liu, H. & Vähänissi, V.
01/01/2019 → 31/12/2022
Projekti: Academy of Finland: Other research funding
PREIN: Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio
Mäkelä, K.
01/01/2019 → 31/12/2022
Projekti: Academy of Finland: Other research funding