Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • Amit Khanna
  • Ananth Subramanian
  • Markus Häyrinen
  • Shankar Selvaraja
  • Peter Verheyen
  • Dries Van Thourhout
  • Seppo Honkanen
  • Harri Lipsanen

  • Roel Baets

Organisaatiot

  • Ghent University
  • University of Eastern Finland
  • Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut5684-5692
Sivumäärä9
JulkaisuOptics Express
Vuosikerta22
Numero5
TilaJulkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Lataa tilasto

Ei tietoja saatavilla

ID: 757572