Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths

Amit Khanna; Ananth Subramanian; Markus Häyrinen; Shankar Selvaraja; Peter Verheyen; Dries Van Thourhout; Seppo Honkanen; Harri Lipsanen; Roel Baets

doi:10.1364/OE.22.005684

Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths

Amit Khanna, Ananth Subramanian, Markus Häyrinen, Shankar Selvaraja, Peter Verheyen, Dries Van Thourhout, Seppo Honkanen, Harri Lipsanen, Roel Baets

Harri Lipsanen Group

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

30 Sitaatiot (Scopus)

192 Lataukset (Pure)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	5684-5692
Sivumäärä	9
Julkaisu	Optics Express
Vuosikerta	22
Numero	5
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1364/OE.22.005684
Tila	Julkaistu - 2014
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Pääsy asiakirjaan

10.1364/OE.22.005684

oe-22-5-5684Final published version, 1,04 MBLisenssi: CC BY-NC

Muut tiedostot ja linkit

http://dx.doi.org/10.1364/OE.22.005684

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{28712a8f22db4f028ffe81f061196a5c,

title = "Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths",

author = "Amit Khanna and Ananth Subramanian and Markus H{\"a}yrinen and Shankar Selvaraja and Peter Verheyen and {Van Thourhout}, Dries and Seppo Honkanen and Harri Lipsanen and Roel Baets",

year = "2014",

doi = "10.1364/OE.22.005684",

language = "English",

volume = "22",

pages = "5684--5692",

journal = "Optics Express",

publisher = "Optica Publishing Group",

number = "5",

}

TY - JOUR

T1 - Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths

AU - Khanna, Amit

AU - Subramanian, Ananth

AU - Häyrinen, Markus

AU - Selvaraja, Shankar

AU - Verheyen, Peter

AU - Van Thourhout, Dries

AU - Honkanen, Seppo

AU - Lipsanen, Harri

AU - Baets, Roel

PY - 2014

Y1 - 2014

UR - http://dx.doi.org/10.1364/OE.22.005684

U2 - 10.1364/OE.22.005684

DO - 10.1364/OE.22.005684

M3 - Article

VL - 22

SP - 5684

EP - 5692

JO - Optics Express

JF - Optics Express

IS - 5

ER -

Impact of ALD grown passivation layers on silicon nitride based integrated optical devices for very-near-infrared wavelengths

Pääsy asiakirjaan

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

OtaNano

Siteeraa tätä