Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications

Hakutulokset

• Aktiivinen

  CHEMI-SEMI: New chemistries for resource efficient semiconductor manufacturing

  Karppinen, M. (Vastuullinen johtaja), Eskelinen, T. (Projektin jäsen), Linjala, J. (Projektin jäsen), Israr, F. (Projektin jäsen), Philip, A. (Projektin jäsen), Ghiyasi, R. (Projektin jäsen), Jestilä, J. (Projektin jäsen), Riikonen, O. (Projektin jäsen) & Karttunen, A. (Projektin jäsen)

  01/01/2024 → 31/12/2026

  Projekti: BF Co-Innovation

  • Thin Films 100%
  • layers 61%
  • thin films 50%
  • Titanium Dioxide 50%
  • deposition 48%

• UniEn-MLD: Unique ALD/MLD-Enabled Material Functions

  Karppinen, M. (Vastuullinen johtaja), Riikonen, O. (Projektin jäsen), Ishtiaq, S. (Projektin jäsen), Philip, A. (Projektin jäsen), Madadi, M. (Projektin jäsen), Antikainen, E. (Projektin jäsen), Linjala, J. (Projektin jäsen), Sederholm, L. (Projektin jäsen), Jussila, T. (Projektin jäsen), Partanen, O. (Projektin jäsen), Koivisto, I. (Projektin jäsen), Francis, M. (Projektin jäsen), Lone, U. (Projektin jäsen), Larkiala, S. (Projektin jäsen), Pekkanen, J. (Projektin jäsen), Ghazy, A. (Projektin jäsen), Saltarelli, L. (Projektin jäsen), Kousar, S. (Projektin jäsen), Tewari, G. (Projektin jäsen), Nemesszeghy, M. (Projektin jäsen) & Ghiyasi, R. (Projektin jäsen)

  01/06/2023 → 31/05/2028

  Projekti: EU Horizon Europe ERC

  • Thin Films 100%
  • Film 29%
  • layers 26%
  • thin films 23%
  • deposition 22%