Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications

Anish Philip; Umaid Lone; Olga Partanen; Eero Haimi; Maarit Karppinen

doi:10.1039/d4cc05425c

Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications

Anish Philip
, Umaid Lone
, Olga Partanen
, Eero Haimi
, Maarit Karppinen^*

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

19 Lataukset (Pure)

Abstrakti

Thin-film deposition using sustainable precursors is required for various next-generation green energy applications. Here we report two atomic/molecular layer deposition processes for appreciably stable and conformal Ti-organic thin films and TiO₂:organic superlattices with potential in e.g. battery, photocatalysis and thermoelectric applications. These processes are based on the safe and sustainable titanium isopropoxide as the titanium precursor.

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	917-920
Sivumäärä	4
Julkaisu	Chemical Communications
Vuosikerta	61
Numero	5
Varhainen verkossa julkaisun päivämäärä	6 jouluk. 2024
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1039/d4cc05425c
Tila	Julkaistu - 16 tammik. 2025
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Rahoitus

Funding was received from Business Finland (CHEMI-SEMI Co-Innovation project) and the European Union (ERC AdG, UniEn-MLD, No. 101097815). Views and opinions expressed are however those of the authors only and do not necessarily reflect those of the European Union or the European Research Council. Neither the European Union nor the granting authority can be held responsible for them. We thank Chipmetrics for the PillarHall LHAR chips. We acknowledge the continuous use of the RawMatTERS Finland Infrastructure (RAMI), as well as the provided facilities and technical support at OtaNano–Microscopy Center (Aalto-NMC) at Aalto University. T. Jussila and J. Pekkanen are thanked for the XRR measurements.

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Tämä tuotos edistää seuraavia kestävän kehityksen tavoitteita:

SDG 7 – Edullinen ja puhdas energia

Pääsy asiakirjaan

10.1039/d4cc05425cLisenssi: CC BY

CHEM_Philip_et_al_Highly_stable_2025_Chem_CommunFinal published version, 976 KBLisenssi: CC BY

Muut tiedostot ja linkit

Linkki julkaisuun Scopuksessa

CHEMI-SEMI: New chemistries for resource efficient semiconductor manufacturing
Karppinen, M. (Vastuullinen johtaja), Eskelinen, T. (Projektin jäsen), Linjala, J. (Projektin jäsen), Israr, F. (Projektin jäsen), Philip, A. (Projektin jäsen), Ghiyasi, R. (Projektin jäsen), Jestilä, J. (Projektin jäsen), Riikonen, O. (Projektin jäsen) & Karttunen, A. (Co-PI)
01/01/2024 → 31/12/2026
Projekti: BF Co-Innovation
UniEn-MLD: Unique ALD/MLD-Enabled Material Functions
Karppinen, M. (Vastuullinen johtaja), Riikonen, O. (Projektin jäsen), Ishtiaq, S. (Projektin jäsen), Philip, A. (Projektin jäsen), Madadi, M. (Projektin jäsen), Antikainen, E. (Projektin jäsen), Linjala, J. (Projektin jäsen), Sederholm, L. (Projektin jäsen), Jussila, T. (Projektin jäsen), Partanen, O. (Projektin jäsen), Koivisto, I. (Projektin jäsen), Francis, M. (Projektin jäsen), Lone, U. (Projektin jäsen), Larkiala, S. (Projektin jäsen), Pekkanen, J. (Projektin jäsen), Ghazy, A. (Projektin jäsen), Saltarelli, L. (Projektin jäsen), Kousar, S. (Projektin jäsen), Tewari, G. (Projektin jäsen), Nemesszeghy, M. (Projektin jäsen) & Ghiyasi, R. (Projektin jäsen)
01/06/2023 → 31/05/2028
Projekti: EU Horizon Europe ERC

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanomikroskopiakeskus
Seitsonen, J. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{ed977bc27a28413e98d10da4e4a24740,

title = "Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications",

abstract = "Thin-film deposition using sustainable precursors is required for various next-generation green energy applications. Here we report two atomic/molecular layer deposition processes for appreciably stable and conformal Ti-organic thin films and TiO2:organic superlattices with potential in e.g. battery, photocatalysis and thermoelectric applications. These processes are based on the safe and sustainable titanium isopropoxide as the titanium precursor.",

author = "Anish Philip and Umaid Lone and Olga Partanen and Eero Haimi and Maarit Karppinen",

note = "| openaire: EC/HE/101097815/EU//UniEn-MLD ",

year = "2025",

month = jan,

day = "16",

doi = "10.1039/d4cc05425c",

language = "English",

volume = "61",

pages = "917--920",

journal = "Chemical Communications",

issn = "1359-7345",

publisher = "Royal Society of Chemistry",

number = "5",

}

TY - JOUR

T1 - Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications

AU - Philip, Anish

AU - Lone, Umaid

AU - Partanen, Olga

AU - Haimi, Eero

AU - Karppinen, Maarit

N1 - | openaire: EC/HE/101097815/EU//UniEn-MLD

PY - 2025/1/16

Y1 - 2025/1/16

N2 - Thin-film deposition using sustainable precursors is required for various next-generation green energy applications. Here we report two atomic/molecular layer deposition processes for appreciably stable and conformal Ti-organic thin films and TiO2:organic superlattices with potential in e.g. battery, photocatalysis and thermoelectric applications. These processes are based on the safe and sustainable titanium isopropoxide as the titanium precursor.

AB - Thin-film deposition using sustainable precursors is required for various next-generation green energy applications. Here we report two atomic/molecular layer deposition processes for appreciably stable and conformal Ti-organic thin films and TiO2:organic superlattices with potential in e.g. battery, photocatalysis and thermoelectric applications. These processes are based on the safe and sustainable titanium isopropoxide as the titanium precursor.

UR - https://www.scopus.com/pages/publications/85212340752

U2 - 10.1039/d4cc05425c

DO - 10.1039/d4cc05425c

M3 - Article

AN - SCOPUS:85212340752

SN - 1359-7345

VL - 61

SP - 917

EP - 920

JO - Chemical Communications

JF - Chemical Communications

IS - 5

ER -

Highly stable and conformal Ti-organic thin films from sustainable precursors via atomic/molecular layer deposition towards green energy applications

Abstrakti

Rahoitus

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Pääsy asiakirjaan

Muut tiedostot ja linkit

Sormenjälki

Projektit

CHEMI-SEMI: New chemistries for resource efficient semiconductor manufacturing

UniEn-MLD: Unique ALD/MLD-Enabled Material Functions

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanomikroskopiakeskus

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä