High-tempereture silicon microbridge actuator

Lauri Sainiemi, Kestutis Grigoras, Ji Fan, Ville Saarela, Ville Vähänissi, Aki Laakso, Sami Franssila

Tutkimustuotos: Työpaperi › Working paper › Professional

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2008
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	Eurosensors 2008, Dresden

Siteeraa tätä

@techreport{fb9f734bf17f4b03b09c9b39ca7b04f9,

title = "High-tempereture silicon microbridge actuator",

author = "Lauri Sainiemi and Kestutis Grigoras and Ji Fan and Ville Saarela and Ville V{\"a}h{\"a}nissi and Aki Laakso and Sami Franssila",

year = "2008",

language = "English",

series = "Eurosensors 2008, Dresden",

type = "WorkingPaper",

}