High quality crystallinity controlled ALD TiO2 for waveguiding applications

Tapani Alasaarela; Lasse Karvonen; Henri Jussila; Antti Säynätjoki; Soroush Mehravar; Robert A. Norwood; Nasser Peyghambarian; Khanh Kieu; Ilkka Tittonen; Harri Lipsanen

doi:10.1364/OL.38.003980

High quality crystallinity controlled ALD TiO2 for waveguiding applications

Tapani Alasaarela, Lasse Karvonen, Henri Jussila, Antti Säynätjoki, Soroush Mehravar, Robert A. Norwood, Nasser Peyghambarian, Khanh Kieu, Ilkka Tittonen, Harri Lipsanen

University of Arizona, College of Optical Sciences

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

25 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	3980-3983
Sivumäärä	4
Julkaisu	Optics Letters
Vuosikerta	38
Numero	20
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1364/OL.38.003980
Tila	Julkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Pääsy asiakirjaan

10.1364/OL.38.003980

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{36350dbff52f448d91792579f39cee57,

title = "High quality crystallinity controlled ALD TiO2 for waveguiding applications",

author = "Tapani Alasaarela and Lasse Karvonen and Henri Jussila and Antti S{\"a}yn{\"a}tjoki and Soroush Mehravar and Norwood, {Robert A.} and Nasser Peyghambarian and Khanh Kieu and Ilkka Tittonen and Harri Lipsanen",

year = "2013",

doi = "10.1364/OL.38.003980",

language = "English",

volume = "38",

pages = "3980--3983",

journal = "Optics Letters",

issn = "0146-9592",

publisher = "Optica Publishing Group",

number = "20",

}

TY - JOUR

T1 - High quality crystallinity controlled ALD TiO2 for waveguiding applications

AU - Alasaarela, Tapani

AU - Karvonen, Lasse

AU - Jussila, Henri

AU - Säynätjoki, Antti

AU - Mehravar, Soroush

AU - Norwood, Robert A.

AU - Peyghambarian, Nasser

AU - Kieu, Khanh

AU - Tittonen, Ilkka

AU - Lipsanen, Harri

PY - 2013

Y1 - 2013

U2 - 10.1364/OL.38.003980

DO - 10.1364/OL.38.003980

M3 - Article

SN - 0146-9592

VL - 38

SP - 3980

EP - 3983

JO - Optics Letters

JF - Optics Letters

IS - 20

ER -

High quality crystallinity controlled ALD TiO2 for waveguiding applications

Pääsy asiakirjaan

Laitteet

OtaNano

Siteeraa tätä