High-Q micromechanical silicon oscillators

K. Nera, O. Hahtela, M. Kujala, K. Lahti, T. Lamminmäki, K. Ruokonen, V. Voipio, I. Tittonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoXXII International Conference on Low Temperature Physics, Helsinki, Finland, August 4-11, 1999
Sivut616
TilaJulkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • high-q
  • micromechanics
  • silicon oscillators

Siteeraa tätä