He Implantation Induced Nanovoids in Crystalline Si

Simo Kilpeläinen, Kimmo Kuitunen, Jonatan Slotte, Filip Tuomisto, E. Bruno, S. Mirabella, F. Priolo

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut164-167
Sivumäärä4
JulkaisuJOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B
Vuosikerta159-160
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 15 maaliskuuta 2009
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • He implantation
  • positron
  • Si

Siteeraa tätä