Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka

Tutkimustuotos: Kirja › Book › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Julkaisupaikka	Burlington, MA USA; Oxford UK
Kustantaja	Elsevier
ISBN (painettu)	978-0-8155-1594-4
Tila	Julkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppi	C1 Erilliset tieteelliset kirjat

Tutkimusalat

@book{ef2d9eb046d14620953b01fd25d874d1,

title = "Handbook of silicon based MEMS materials and technologies",

keywords = "MEMS, silicon, MEMS, silicon, MEMS, silicon",

author = "Veikko Lindroos and Markku Tilli and Ari Lehto and Teruaki Motooka",

year = "2010",

language = "English",

isbn = "978-0-8155-1594-4",

publisher = "Elsevier",

address = "Netherlands",

}

TY - BOOK

T1 - Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

AU - Lindroos, Veikko

AU - Tilli, Markku

AU - Lehto, Ari

AU - Motooka, Teruaki

PY - 2010

Y1 - 2010

KW - MEMS

KW - silicon

KW - MEMS

KW - silicon

KW - MEMS

KW - silicon

M3 - Book

SN - 978-0-8155-1594-4

BT - Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

PB - Elsevier

CY - Burlington, MA USA; Oxford UK

ER -