Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Tutkimustuotos: Kirja

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisupaikkaLondon
KustantajaElsevier
Sivumäärä787
Painos2nd edition
ISBN (painettu)978-0-323-29965-7
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiD5 Käsikirjat, ammatilliset käyttöoppaat tai ohjeet tai sanastott

ID: 1465698