Growth of thin Al2O3 films on biaxially oriented polymer films by atomic layer deposition

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • M. Vähä-Nissi
  • E. Kauppi
  • K. Sahagian
  • L-S. Johansson
  • M.S. Peresin
  • J. Sievänen
  • A. Harlin

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisuThin Solid Films
Numero1
TilaJulkaistu - 2012
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

ID: 809158