Growth of group 3 oxide thin films by atomic layer epitaxy

M. Nieminen, M. Putkonen, E. Rauhala, T. Sajavaara, J. Niinistö, L. Niinistö

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut37
    TilaJulkaistu - 2000
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiFinnish Chemical Congress and Exhibition, Helsinki, Finland, November 15-17, 2000
    KustantajaThe Association of Finnish Chemical Societies

    Tutkimusalat

    • atomic layer epitaxy
    • beta-diketonate

    Siteeraa tätä