Growth of conductive copper sulfide thin films by atomic layer deposition

Johanna Johansson, Juhana Kostamo, Maarit Karppinen, Lauri Niinistö

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    97 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut1022-1026
    JulkaisuJournal of Materials Chemistry
    Vuosikerta12
    TilaJulkaistu - 2002
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • ALD
    • copper sulfide
    • thin films

    Siteeraa tätä