Gettering of Unintentionally Contaminated Silicon Wafers by Phosphorous Ion Implantation And Annealing

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut291-294
JulkaisuSolid-State Phenomena
Vuosikerta69-70
TilaJulkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • contamination
  • gettering
  • silicon

Siteeraa tätä