Gettering of iron in silicon by boron implantation

Antti Haarahiltunen, Heli Talvitie, Hele Savin, O. Anttila, Marko Yli-Koski, M. I. Asghar, Juha Sinkkonen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    15 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    SivutS41-S45
    JulkaisuJournal of Materials Science: Materials in Electronics
    Vuosikerta19
    Numero1
    TilaJulkaistu - 2008
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • boron
    • gettering
    • iron
    • silicon

    Siteeraa tätä