Gettering of iron by ion implanted emitters

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientific

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoXV Conference Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology GADEST, Oxford, UK, September, 22-27,2013
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiB3 Ei-soviteltu artikkeli konferenssin julkaisusarjassa

Siteeraa tätä