Gettering in SOI wafers: experimental studies and modeling

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

  • Andrei Istratov
  • Hele Väinölä
  • Walter Huber
  • Eicke Weber

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut568-575
JulkaisuSemiconductor Science and Technology
Vuosikerta20
Numero6
TilaJulkaistu - 2005
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • copper, gettering, iron, silicon, SOI

ID: 4153709