Gas Damping Model for a RF MEMS Switch and Its Dynamic Characteristics

T. Veijola, T. Tinttunen, Heikki Nieminen, V. Ermolov, Tapani Ryhänen

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    23 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaSeattle, USA
    Sivut1213-1216
    TilaJulkaistu - 2002
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiInternational Microwave Symposium (IMS), Seattle, June2-7, 2002

    Tutkimusalat

    • gas damping
    • MEMS
    • switch

    Siteeraa tätä