Galvanic corrosion of structural non-stoichiometric silicon nitride thin films and its implications on reliability of microelectromechanical devices

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut245304-1-245304-9
JulkaisuJournal of Applied Physics
Vuosikerta117
Numero24
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Lataa tilasto

Ei tietoja saatavilla

ID: 1994890