Galvanic corrosion of silicon-based thin films: A case study of a MEMS microphone

Mikael Broas, Jue Li, Xuwen Liu, Yanling Ge, Antti Peltonen, Toni Tuomas Mattila, Mervi Paulasto-Krockel

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientific

3 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoElectronic Components and Technology Conference (ECTC) , San Diego, 26-29 May 2015
KustantajaIEEE
Sivut453-459
ISBN (painettu)9781479986088
TilaJulkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppiB3 Ei-soviteltu artikkeli konferenssin julkaisusarjassa

Laitteet

  • Siteeraa tätä

    Broas, M., Li, J., Liu, X., Ge, Y., Peltonen, A., Mattila, T. T., & Paulasto-Krockel, M. (2015). Galvanic corrosion of silicon-based thin films: A case study of a MEMS microphone. teoksessa Electronic Components and Technology Conference (ECTC) , San Diego, 26-29 May 2015 (Sivut 453-459). IEEE.